本文選題：TC鈦合金 + 中頻磁控反應(yīng)濺射�。� 參考：《壓電與聲光》2015年02期

【摘要】：采用中頻磁控反應(yīng)濺射,提出了在TC4鈦合金基片上制備c軸取向AlN薄膜的兩步法工藝。利用掃描電鏡分析(SEM)、X線衍射(XRD)、原子力顯微鏡(AFM)對(duì)薄膜的表面及斷面形貌、晶體結(jié)構(gòu)、表面粗糙度進(jìn)行了表征。研究結(jié)果表明,利用該文提出的兩步法工藝可在TC4鈦合金襯底上制備出表面粗糙度為2.3nm、c軸XRD搖擺曲線半高寬為4.1°的AlN薄膜,滿足制作壓電微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件或薄膜聲表面波(SAW)和體聲波器件的需求。
[Abstract]:A two-step technique for the preparation of c-axis oriented AlN thin films on TC4 titanium alloy substrates by intermediate frequency magnetron reactive sputtering was proposed. Scanning electron microscopy (SEM) X-ray diffraction (XRD) and atomic force microscopy (AFM) were used to characterize the surface and cross-section morphology, crystal structure and surface roughness of the films. The results show that AlN thin films with a surface roughness of 2.3 nm ~ (m) C ~ (-axis) XRD rocking curve with a half maximum width of 4.1 擄can be prepared on TC4 substrate by using the two-step method proposed in this paper. It can be used to fabricate piezoelectric micro electromechanical system (MEMS) devices, thin film surface acoustic wave (saw) and bulk acoustic wave devices.
【作者單位】： 電子科技大學(xué)電子薄膜與集成器件國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(61223002) 四川省青年科技創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)基金資助項(xiàng)目(2011HTD0006)
【分類(lèi)號(hào)】：TG174.4

【參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前1條

1 董浩,黎明鍇,劉傳勝,付強(qiáng),盧寧,范湘軍;中頻脈沖磁控濺射制備氮化鋁薄膜[J];武漢大學(xué)學(xué)報(bào)(理學(xué)版);2002年03期

【共引文獻(xiàn)】

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1 朱春燕;朱昌;;磁控反應(yīng)濺射AlN薄膜光學(xué)性能研究[J];表面技術(shù);2008年01期

2 馬勝歌;康光宇;;柱弧離子鍍和非平衡磁控濺射鍍制備Ti-N-C黑色硬質(zhì)膜[J];材料保護(hù);2007年04期

3 張以忱;巴德純;顏云輝;馬勝歌;;中頻非平衡磁控濺射制備Ti-N-C膜[J];東北大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2008年07期

4 賈貞;翁衛(wèi)祥;袁軍林;張杰;李昱;郭太良;;中頻磁控濺射AlN薄膜的電學(xué)性能研究[J];光電子技術(shù);2010年02期

5 楊健;韓國(guó)威;司朝偉;趙永梅;寧瑾;;氮化鋁面內(nèi)伸縮模態(tài)諧振器的研究現(xiàn)狀[J];微納電子技術(shù);2014年06期

6 陳璞;彭啟才;;中頻磁控反應(yīng)濺射制備硅基氮化鋁薄膜[J];西華大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2008年01期

7 馬勝歌;吳宇峰;耿漫;;中頻孿生靶非平衡磁控濺射制備Ti/TiN/Ti(N,C)黑色硬質(zhì)膜[J];真空與低溫;2006年01期

8 陳勇;袁軍林;段麗;楊雄;翁衛(wèi)祥;郭太良;;中頻磁控反應(yīng)濺射AlN薄膜及微觀結(jié)構(gòu)研究[J];真空;2010年01期

9 林松盛;劉蘭蘭;曾德長(zhǎng);代明江;胡芳;;偏壓對(duì)中頻反應(yīng)磁控濺射AlN薄膜結(jié)構(gòu)與性能的影響[J];真空;2012年06期

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1 周yN;馬勝歌;張德元;張以忱;耿漫;吳宇峰;;中頻非平衡磁控濺射制備TiN膜[A];2005'全國(guó)真空冶金與表面工程學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2005年

2 梁海鋒;周揚(yáng);嚴(yán)一心;;直流磁過(guò)濾電弧沉積氮化鋁薄膜的研究[A];2006年全國(guó)光電技術(shù)學(xué)術(shù)交流會(huì)會(huì)議文集（B 光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)與制造技術(shù)專(zhuān)題）[C];2006年

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1 張以忱;中頻非平衡磁控濺射制備硬質(zhì)復(fù)合薄膜的研究[D];東北大學(xué);2008年

2 高博;新結(jié)構(gòu)GaN基p-i-n型紫外探測(cè)器及其光電特性研究[D];西安電子科技大學(xué);2011年

3 馮斌;嵌入式電極側(cè)向場(chǎng)激勵(lì)FBAR若干問(wèn)題的研究[D];浙江大學(xué);2013年

4 鄺許平;射頻磁控反應(yīng)濺射低溫制備高C軸擇優(yōu)取向的氮化鋁薄膜[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2014年

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2 周立濤;機(jī)車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)活塞環(huán)槽表面強(qiáng)化處理及摩擦磨損性能研究[D];北京交通大學(xué);2007年

3 王亞男;鋁及鋁合金表面氮化層的組織與性能研究[D];吉林大學(xué);2010年

4 李智;（002）取向AIN薄膜研究[D];湖南大學(xué);2011年

5 王廣釗;氮化鋁基納米團(tuán)簇儲(chǔ)氫性質(zhì)和機(jī)理的第一性原理研究[D];西南大學(xué);2014年

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3 張學(xué)軍;馬鐵軍;李能;劉文慧;;TC4鈦合金線性摩擦焊接頭組織及性能研究[J];鈦工業(yè)進(jìn)展;2012年04期

4 陳燕;趙秀娟;劉鵬濤;陳春煥;任瑞銘;;TC4鈦合金線性摩擦焊接頭的組織與硬度分析[J];理化檢驗(yàn)(物理分冊(cè));2012年07期

5 楊闖;馬亞芹;王亮;;TC4鈦合金真空脈沖滲氧硬化層的組織與性能[J];表面技術(shù);2013年03期

6 馬鐵軍;張學(xué)軍;楊思乾;張勇;張?jiān)葡?;TC4鈦合金線性摩擦焊接頭的沖擊韌性及斷口特征[J];航空材料學(xué)報(bào);2007年06期

7 張春艷;王振林;田中青;楊惠;;TC4鈦合金熱氧化層微米壓痕/劃痕試驗(yàn)研究[J];熱加工工藝;2009年18期

8 劉佳佳;張艷苓;韓秀全;黃繼華;;TC4鈦合金激光焊接頭組織及超塑性能研究[J];熱加工工藝;2013年21期

9 龔沛;孫東立;;氫對(duì)熱變形TC4鈦合金顯微組織的影響[J];機(jī)械工程材料;2007年06期

10 劉小文,史永高,毛信孚,杜隨更;TC4鈦合金摩擦焊接頭的力學(xué)性能及顯微組織[J];焊接學(xué)報(bào);2001年06期

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1 劉小文;王忠平;杜隨更;;TC4鈦合金摩擦焊接頭的金相組織及力學(xué)性能[A];第十次全國(guó)焊接會(huì)議論文集（第1冊(cè)）[C];2001年

2 雷文光;于蘭蘭;毛小南;羅雷;張英明;侯智敏;;電子束冷床熔煉TC4鈦合金連鑄凝固過(guò)程數(shù)值模擬[A];第十四屆全國(guó)鈦及鈦合金學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集（上冊(cè)）[C];2010年

3 喬永蓮;孫福權(quán);楊建偉;柳楠;劉新宇;蘇萬(wàn)強(qiáng);沙春鵬;;TC4鈦合金表面止焊劑去除工藝研究[A];2012航空試驗(yàn)測(cè)試技術(shù)學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集[C];2012年

4 單磊;周繼烈;;TC4鈦合金-鋼激光焊接熱應(yīng)力分析[A];第13屆全國(guó)特種加工學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2009年

5 付鵬飛;李晉煒;吳冰;左從進(jìn);;TC4鈦合金電子束焊接殘余應(yīng)力盲孔法測(cè)試研究[A];2005年中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)年會(huì)論文集[C];2005年

6 付鵬飛;李晉煒;吳冰;左從進(jìn);;TC4鈦合金電子束焊接殘余應(yīng)力盲孔法測(cè)試研究[A];2005年中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)年會(huì)論文集第11屆全國(guó)特種加工學(xué)術(shù)會(huì)議專(zhuān)輯[C];2005年

7 徐潔潔;蔡華;楊武雄;肖榮詩(shī);張文栓;唐湘燕;;TC4鈦合金薄板激光焊接實(shí)驗(yàn)研究[A];2007年中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)年會(huì)之第12屆全國(guó)特種加工學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2007年

8 徐潔潔;蔡華;楊武雄;肖榮詩(shī);張文栓;唐湘燕;;TC4鈦合金薄板激光焊接實(shí)驗(yàn)研究[A];2007年中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)年會(huì)論文集[C];2007年

9 常榮輝;蘇杭;;薄壁TC4鈦合金電子束焊接應(yīng)用研究[A];第十六次全國(guó)焊接學(xué)術(shù)會(huì)議論文摘要集[C];2011年

10 張?jiān)迄i;孫廣標(biāo);張安洲;;超聲磨料對(duì)TC4鈦合金電火花加工表面質(zhì)量的影響[A];陜西省機(jī)械工程學(xué)會(huì)特種加工分會(huì)第九屆學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];2010年

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1 周巖;TC4鈦合金電塑性拉拔變形行為及機(jī)理[D];大連理工大學(xué);2013年

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3 薛超;TC4鈦合金冷拉拔變形行為與微觀組織的研究[D];大連理工大學(xué);2011年

4 劉永軍;TC4鈦合金與1Cr18Ni9Ti不銹鋼超塑性擴(kuò)散連接工藝研究[D];西北工業(yè)大學(xué);2007年

5 陳燕;TC4鈦合金線性摩擦焊接頭組織結(jié)構(gòu)分析[D];大連交通大學(xué);2012年

6 楊大洪;TC4鈦合金真空電子束焊接工藝研究[D];重慶大學(xué);2008年

7 羅雷;TC4鈦合金電子束冷床熔煉技術(shù)研究[D];西安建筑科技大學(xué);2010年

8 李凱s，

本文編號(hào)：2050627