本文選題：燒結(jié)釹鐵硼 + 永磁材料�。� 參考：《材料熱處理學(xué)報》2017年03期

【摘要】：為了提高燒結(jié)NdFeB磁體的耐腐蝕性能,采用真空蒸鍍的方法在燒結(jié)NdFeB磁體表面沉積Al薄膜,并對工藝過程中的工藝參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化。結(jié)果表明:真空室溫度對Al薄膜的結(jié)構(gòu)及耐腐蝕性能基本沒有影響,但溫度過高會導(dǎo)致Al薄膜表面島狀結(jié)構(gòu)的增大,造成Al薄膜的厚度一致性難以控制;隨著蒸發(fā)源溫度的增加,Al薄膜的沉積速率逐漸增加,但是隨著蒸鍍時間的延長,Al薄膜的沉積效率逐漸降低,這是由于Al蒸發(fā)原子在基片上冷凝沉積的物理驅(qū)動力下降導(dǎo)致的。采用最佳工藝參數(shù)制備的厚度為8μm的Al薄膜,耐中性鹽霧試驗時間可達(dá)60 h,且Al鍍層的涂覆對NdFeB磁體的磁性能基本沒有影響。
[Abstract]:In order to improve the corrosion resistance of sintered NdFeB magnets, Al films were deposited on the sintered NdFeB magnets by vacuum evaporation, and the process parameters were optimized. The results show that the temperature of vacuum chamber has no effect on the structure and corrosion resistance of Al film, but the high temperature will lead to the increase of the island structure on the surface of Al film, and the consistency of the thickness of Al film will be difficult to control. The deposition rate of Al films increases with the increase of evaporation source temperature, but the deposition efficiency of Al films decreases with the prolongation of evaporation time, which is due to the decrease of the physical driving force of the condensation deposition of Al vaporizing atoms on the substrates. When Al thin films with thickness of 8 渭 m were prepared by the optimum process parameters, the test time of neutral salt spray resistance could be up to 60 h, and the coating of Al coating had little effect on the magnetic properties of NdFeB magnets.
【作者單位】： 合肥工業(yè)大學(xué)工業(yè)與裝備技術(shù)研究院;合肥工業(yè)大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;稀土永磁材料國家重點實驗室;
【基金】：國家科技支撐計劃項目(2012BAE02B01) 安徽省自然科學(xué)基金(1408085MKL72,1408085MKL73)
【分類號】：TB306

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本文編號：1939832