本文選題：磁控濺射 + Cu薄膜��； 參考：《化工新型材料》2017年07期

【摘要】：采用磁控濺射法在紡織纖維基材的表面沉積了Cu薄膜以及Cu/Al_2O_3復合薄膜。對總濺射時間相等條件下所制備的單面Cu薄膜和雙面Cu薄膜纖維屏蔽材料的屏蔽效能進行了測試與分析,并對雙面Cu薄膜和Cu/Al_2O_3復合薄膜的纖維屏蔽材料的抗氧化性能進行了測試對比。結果表明:雙面Cu薄膜屏蔽材料的屏蔽效能要明顯優(yōu)于單面Cu薄膜屏蔽材料的屏蔽效能;將雙面Cu薄膜和Cu/Al_2O_3復合薄膜的纖維屏蔽材料放置在相同室溫環(huán)境中60d,雙面Cu薄膜纖維屏蔽材料發(fā)生了嚴重的氧化;而Cu/Al_2O_3復合薄膜纖維屏蔽材料僅有輕微氧化,整體性能良好。
[Abstract]:Cu film and Cu/Al_2O_3 composite film were deposited on the surface of textile fiber substrate by magnetron sputtering. The shielding effectiveness of single side Cu film and double-sided Cu film fiber shielding material under the same total sputtering time was tested and analyzed, and the fiber shielding material of double sided Cu film and Cu/Al_2O_3 composite film was also made. The results show that the shielding effectiveness of the double-sided Cu film shielding material is obviously better than the shielding effectiveness of the single side Cu film shielding material, and the fiber shielding material of the double-sided Cu film and the Cu/Al_2O_3 composite film is placed in the same room temperature environment 60d, and the double-sided Cu film fiber shielding material has been serious. Oxidation and Cu/Al_2O_3 composite films have only slight oxidation and good overall properties.

【作者單位】： 江南大學生態(tài)紡織教育部重點實驗室;
【分類號】：TB34

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