本文選題：薄膜 + 太赫茲�。� 參考：《光學學報》2017年11期

【摘要】：提出了一種以聚酯薄膜作為支撐的超薄金屬薄膜太赫茲分束器結(jié)構(gòu),建立了該結(jié)構(gòu)的基于傳輸矩陣理論的分束模型,分析了不同厚度金屬Cr膜和聚酯薄膜對超寬頻段太赫茲分束器的反射率、透射率和分束比的影響.理論結(jié)果表明,太赫茲分束器的分束性能受金屬Cr膜厚度的影響較大,而受聚酯薄膜厚度的影響較小.在此基礎(chǔ)上,制備了不同厚度金屬Cr膜的太赫茲分束器件,并進行了分束實驗,獲得了與理論分析一致的實驗結(jié)果,確定了1∶1分束比下的器件結(jié)構(gòu)參數(shù).
[Abstract]:A terahertz beam splitter structure supported by polyester film is proposed, and a beam splitting model based on transfer matrix theory is established. The effects of metal Cr films and polyester films on the reflectivity, transmittance and beam splitting ratio of terahertz beam splitter in ultra-wide band were analyzed. The theoretical results show that the beam splitting performance of terahertz beam splitter is greatly affected by the thickness of metallic Cr film, but less by the thickness of polyester film. On this basis, terahertz beam splitting devices with different thickness metal Cr films have been fabricated, and beam splitting experiments have been carried out. The experimental results are in agreement with the theoretical analysis, and the structure parameters at 1:1 beam splitting ratio have been determined.
【作者單位】： 長春理工大學高功率半導(dǎo)體激光國家重點實驗室;中國科學院重慶綠色智能技術(shù)研究院跨尺度制造技術(shù)重慶市重點實驗室;
【基金】：國家自然科學基金(61504147,61605206,11604332) 中國科學院西部之光資助課題
【分類號】：O441;TB383.2

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本文編號：1811871