本文選題：納米金剛石　切入點：MPCVD微波等離子體　出處：《人工晶體學(xué)報》2017年04期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：納米金剛石(NCD)在精密機械、光學(xué)真空窗口等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。利用微波等離子體化學(xué)氣相沉積法(MPCVD)以乙醇、氬氣和氫氣為氣源,通過改變氬氣濃度探究氬氣對NCD膜光學(xué)性質(zhì)的影響,利用掃描電子顯微鏡(SEM)、Raman光譜、X射線衍射儀(XRD)和紅外光譜對不同氬氣濃度沉積的薄膜的結(jié)構(gòu)、成分和性質(zhì)進行表征。結(jié)果表明,隨著氬氣濃度升高,NCD膜表面粗糙度降低,同時金剛石的純度下降,在此作用下,NCD膜的透光性隨氬氣濃度先升高后降。
[Abstract]:Nanocrystalline diamond (NCD) has been widely used in precision machinery, optical vacuum window and other fields. MPCVD was prepared by microwave plasma chemical vapor deposition (MPCVD) with ethanol, argon and hydrogen as gas sources. The effect of argon on the optical properties of NCD films was investigated by changing the concentration of argon. The structure of films deposited with different argon concentrations was studied by scanning electron microscopy (SEM) and X-ray diffraction (XRD). The results show that the surface roughness of NCD films decreases and the purity of diamond decreases with the increase of argon concentration, and the transmittance of NCD films decreases with the increase of argon concentration.
【作者單位】： 武漢工程大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院湖北省等離子體化學(xué)與新材料重點實驗室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(11575134)
【分類號】：TB383.2;TQ163

【相似文獻】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 ;俄研制出納米金剛石制備新方法[J];企業(yè)技術(shù)開發(fā);2012年01期

2 王光祖,賈英倫;在提取與凈化納米金剛石分散過程中其試樣所顯現(xiàn)的物理化學(xué)性質(zhì)[J];珠寶科技;2004年03期

3 文潮,金志浩,劉曉新,李迅,關(guān)錦清,孫德玉,林英睿,唐仕英,周剛,林俊德;炸藥爆轟合成納米金剛石的拉曼光譜和紅外光譜研究[J];光譜學(xué)與光譜分析;2005年05期

4 王光祖;田麗;;烏克蘭與白俄羅斯納米金剛石的研究現(xiàn)狀[J];超硬材料工程;2007年01期

5 李穎;李煥鋒;董企銘;毛協(xié)民;胡余沛;荊運潔;;爆轟法制備納米金剛石表面化學(xué)與熱性能研究[J];金剛石與磨料磨具工程;2008年01期

6 王志敏;蘇朝化;劉朝暉;;爆轟納米金剛石分離與純化研究進展[J];超硬材料工程;2012年03期

7 王大志，，徐康，賈云波，燕紅，周貴恩，胡克良，葛袁;納米金剛石及其穩(wěn)定性[J];無機材料學(xué)報;1995年03期

8 ;國內(nèi)首家納米金剛石生產(chǎn)線建成[J];天津冶金;2001年03期

9 張毅;納米金剛石的生產(chǎn)及應(yīng)用[J];河南化工;2003年09期

10 V.V.Danilenko;王光祖;田麗;;納米金剛石合成的研發(fā)歷史[J];超硬材料工程;2006年06期

相關(guān)會議論文 前4條

1 李恩重;李江存;周新遠;陳茜;劉曉亭;;鉻(Ⅲ)-納米金剛石復(fù)合電鍍的研究進展[A];第八屆全國表面工程學(xué)術(shù)會議暨第三屆青年表面工程學(xué)術(shù)論壇論文集（五）[C];2010年

2 李皓;李彬;陳廣超;;直流電弧等離子體噴射法制備金剛石的研究[A];第八屆全國表面工程學(xué)術(shù)會議暨第三屆青年表面工程學(xué)術(shù)論壇論文集（七）[C];2010年

3 高燕;王立平;劉惠文;徐洮;;鎳-納米金剛石復(fù)合電沉積工藝研究[A];甘肅省化學(xué)會成立六十周年學(xué)術(shù)報告會暨二十三屆年會論文集[C];2003年

4 張書達;;納米金剛石技術(shù)與應(yīng)用的進展[A];2011中國材料研討會論文摘要集[C];2011年

相關(guān)重要報紙文章 前1條

1 ;納米金剛石復(fù)合涂層技術(shù)實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用[N];中國高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)導(dǎo)報;2006年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前10條

1 錢海峰;超臨界狀態(tài)下納米金剛石復(fù)合電鑄技術(shù)研究[D];江蘇理工學(xué)院;2015年

2 韓汶洪;N型納米金剛石微結(jié)構(gòu)的制備及其在S波段微波場發(fā)射性能研究[D];西南科技大學(xué);2015年

3 翟陳婷;納米金剛石NV色心的制備與熒光增強[D];中北大學(xué);2016年

4 王芬芬;破碎法納米金剛石的制備及其性能研究[D];河南工業(yè)大學(xué);2016年

5 陳夢露;摻氮N型超納米金剛石的第一性原理研究[D];西南科技大學(xué);2016年

6 劉若錦;納米金剛石的表面功能化研究[D];河北工業(yè)大學(xué);2015年

7 王俊;爆轟納米金剛石顆粒分散及摩擦性能研究[D];大連理工大學(xué);2014年

8 呂琳;MPCVD制備大面積超納米金剛石膜的研究[D];武漢工程大學(xué);2015年

9 熊江;熱絲CVD法生長納米金剛石膜及其生長機理研究[D];武漢工程大學(xué);2015年

10 陸峰;單晶式多晶體納米金剛石復(fù)合表面電學(xué)性質(zhì)研究[D];內(nèi)蒙古科技大學(xué);2014年

本文編號：1590366