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納米多層結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)硬質(zhì)薄膜韌化的方法、機(jī)理與應(yīng)用

發(fā)布時(shí)間:2018-01-13 14:43

  本文關(guān)鍵詞:納米多層結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)硬質(zhì)薄膜韌化的方法、機(jī)理與應(yīng)用 出處:《材料工程》2017年08期  論文類型:期刊論文


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【摘要】:硬質(zhì)薄膜的韌化正成為氣相沉積硬質(zhì)薄膜研究和應(yīng)用的重點(diǎn)。納米多層結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)是實(shí)現(xiàn)硬質(zhì)薄膜強(qiáng)韌化的有效方法。本文介紹了納米多層薄膜組元和韌化機(jī)理,討論了周期、調(diào)制周期比、微觀結(jié)構(gòu)等子層因素對(duì)強(qiáng)韌化的影響,以及耐磨損、耐沖蝕場(chǎng)合的應(yīng)用現(xiàn)狀、問(wèn)題以及原因。微裂紋在多層界面間偏折是納米多層結(jié)構(gòu)韌化的主要機(jī)理,但納米多層結(jié)構(gòu)界面越多,其裂紋萌生源越多,如果界面韌性較差,納米多層結(jié)構(gòu)會(huì)很快發(fā)生層-層剝離而失效。因此,納米多層薄膜的韌化效果決定于界面的質(zhì)量,而不是數(shù)量。必須獲得高質(zhì)量的層間界面,從斷裂力學(xué)角度考慮抑制微裂紋的擴(kuò)展,才能發(fā)揮納米多層結(jié)構(gòu)薄膜的優(yōu)勢(shì)。
[Abstract]:The toughening of hard films is becoming the focus of the research and application of vapor deposition hard films. The design of nano-multilayer structure is an effective method to realize the strengthening and toughening of hard films. The composition and toughening mechanism of nano-multilayer films are introduced in this paper. The effects of cycle, modulation period ratio, microstructure and other sublayers on strengthening and toughening, as well as the application status of wear resistance and erosion resistance are discussed. The main mechanism of toughening of nano-multilayer structure is the deflection of microcracks in multi-layer interface, but the more the interface of nano-multilayer structure, the more crack initiation source, if the interface toughness is poor. Therefore, the toughening effect of nanocrystalline multilayer films depends on the quality of interface, not the quantity. Therefore, high quality interlayer interface must be obtained. From the angle of fracture mechanics, the advantages of nano-multilayer films can be brought into play by restraining the propagation of microcracks.
【作者單位】: 裝甲兵工程學(xué)院再制造技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】:國(guó)家自然科學(xué)基金青年科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51401238,51102283) 國(guó)家國(guó)際科技合作專項(xiàng)資助(2015DFG51920)
【分類號(hào)】:TB383.2
【正文快照】: 采用物理氣相沉積(PVD)或化學(xué)氣相沉積(CVD)的方法,在基體材料的表面制備微米尺度的硬質(zhì)薄膜,可在幾乎不改變基體尺寸的條件下,顯著提高基體表面的性能,如耐磨[1]、減摩、耐沖蝕[2,3]等。到目前為止,獲得深入研究并廣泛應(yīng)用的硬質(zhì)薄膜體系(以過(guò)渡族金屬為主的)有氮化物、碳化

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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【相似文獻(xiàn)】

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2 唐正文,崔學(xué)福,王素娥;片狀多層結(jié)構(gòu)鹵化銀微晶的制備、結(jié)構(gòu)和性能的研究Ⅰ[J];感光科學(xué)與光化學(xué);1993年03期

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7 余青,彭彥彬,王巍,周本茂,沈守瑤,,劉其則;多層結(jié)構(gòu)顆粒乳劑微晶的制備[J];感光材料;1995年03期

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3 郭鈺寧;楊德興;馮文;常瑛;;多層結(jié)構(gòu)中激光超聲波特性的模擬研究[A];第十四屆全國(guó)光學(xué)測(cè)試學(xué)術(shù)討論會(huì)論文(摘要集)[C];2012年

4 李永堅(jiān);;基于分布式多層結(jié)構(gòu)的管理信息系統(tǒng)(MIS)的設(shè)計(jì)[A];廣西電機(jī)工程學(xué)會(huì)第七屆青年學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集[C];2002年

5 史麗萍;赫曉東;李W

本文編號(hào):1419308


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