本文關鍵詞：甲烷流量對類富勒烯碳基薄膜結構與摩擦學性能的影響　出處：《人工晶體學報》2017年01期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：以甲烷為前驅體,采用等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)技術沉積類富勒烯碳基(FL-C∶H)薄膜于單晶硅n-100基底材料表面。利用高分辨透射電鏡(HRTEM)和拉曼光譜儀(Ramman)對薄膜的結構形貌進行表征;通過原位納米力學測試系統(tǒng)和摩擦磨損試驗機分析比較薄膜在不同甲烷流量的情況下的力學特征及摩擦學特性。實驗結果表明:所制備的碳基薄膜具有類富勒烯納米結構特征,甲烷流量對類富勒烯碳基薄膜(FL-C∶H)的結構和性能具有較大的影響;薄膜的彈性模量、硬度以及薄膜中的類富勒烯結構隨著甲烷流量的增加而減小,但是摩擦系數(shù)對甲烷流量的變化不敏感。
[Abstract]:Methane as precursor. Plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) technique was used to prepare fullerene-like carbon based FL-C: h films on the surface of monocrystalline silicon n-100 substrates. HRTEM) and Raman spectrometer (Ramman) were used to characterize the structure and morphology of the films. The mechanical and tribological properties of the films under different methane flow rates were analyzed and compared by in-situ nanomechanical testing system and friction and wear tester. The experimental results show that:. The prepared carbon-based films have the characteristics of fullerene-like nanostructures. The flow rate of methane has great influence on the structure and properties of fullerene-like carbon based thin film FL-C: h). The elastic modulus, hardness and fullerene-like structure of the film decrease with the increase of methane flux, but the friction coefficient is not sensitive to the change of methane flux.
【作者單位】： 西安航空學院材料工程學院;中國科學院蘭州化學物理研究所先進潤滑與防護材料研發(fā)中心;
【基金】：西安航空學院校級科研基金(2016KY1209) 國家自然科學基金(51275508)
【分類號】：TB383.2
【正文快照】： Influence of Methane Flow Rate on the Structure and TribologicalProperties of Fullerene-like Hydrogenated Carbon Thin FilmsWU Kun-yao1,ZONG Yan-xu1,GONG Zhen-bin2,YANG Chang-qing1,Li Zhao1,LU Yuan-yuan1,MENG Zhi-xin1(1.School of Materials Engineering,Xi'

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本文編號：1419022