本文關(guān)鍵詞：基于不穿絲技術(shù)的小孔徑拉絲模HFCVD金剛石涂層的溫度場仿真及實(shí)驗研究　出處：《真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報》2017年06期 　論文類型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： 不穿絲技術(shù) 溫度場仿真 HFCVD金剛石薄膜 拉絲膜 小孔徑

【摘要】：針對金剛石涂層在小孔徑內(nèi)孔上制備的難點(diǎn),提出雙層熱絲布局的不穿絲技術(shù)來實(shí)現(xiàn)熱絲化學(xué)氣相沉積金剛石薄膜在小孔徑拉絲模內(nèi)孔的沉積�；谟邢奕莘e法和正交試驗法,對關(guān)鍵沉積區(qū)域基體進(jìn)行了溫度場仿真分析,對熱絲參數(shù)(直徑D1、D2,熱絲與基體間距S1、S2)進(jìn)行了仿真優(yōu)化。選取優(yōu)化參數(shù)組合進(jìn)行了小孔徑拉絲模金剛石涂層制備實(shí)驗,分別采用掃描電子顯微鏡和拉曼光譜儀對上述方法制備的金剛石涂層進(jìn)行了表征。結(jié)果表明:通過上述優(yōu)化及實(shí)驗在小孔徑拉絲模內(nèi)孔表面成功沉積了高質(zhì)量,均勻性好的金剛石涂層,為其批量化制備提供了關(guān)鍵技術(shù)支撐。
[Abstract]:Based on the finite volume method and the orthogonal test method , the diamond coating prepared by the above - mentioned method is characterized by the scanning electron microscope and the Raman spectrometer . The results show that the diamond coating with high quality and good uniformity is successfully deposited on the surface of the small pore diameter drawing die by scanning electron microscope and Raman spectrometer . The key technology support is provided for the batch preparation .

【作者單位】： 上海交通大學(xué)機(jī)械與動力工程學(xué)院;
【分類號】：TB306
【正文快照】： 拉絲模的內(nèi)孔表面的硬度、摩擦系數(shù)和抗磨損性等性能,對于模具自身壽命、產(chǎn)品的表面質(zhì)量和尺寸精度、生產(chǎn)效率有重大的影響。熱絲化學(xué)氣相沉積(Hot filament chemical vapor deposition,HFCVD)金剛石薄膜以其極高的硬度、熱導(dǎo)率,極好的耐磨性、化學(xué)穩(wěn)定性和極低的摩擦系數(shù)等優(yōu)

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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