本文關(guān)鍵詞：磁控濺射法制備負(fù)溫度系數(shù)熱敏電阻薄膜材料研究獲進(jìn)展　出處：《人工晶體學(xué)報(bào)》2017年10期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：正負(fù)溫度系數(shù)(NTC)熱敏電阻是常見的溫度測控元件,具備測溫精度高、靈敏度高、可靠性好、成本低、工作壽命長等特點(diǎn),在航空、海洋和民用等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。隨著電子工業(yè)和信息技術(shù)水平的不斷進(jìn)步,現(xiàn)代電子信息系統(tǒng)正朝向微小型化和單片集成的方向發(fā)展。相比于塊體陶瓷型熱敏電阻,薄膜型NTC熱敏電阻更
[Abstract]:The positive and negative temperature coefficient (NTC) thermistor is a common temperature measurement and control element with high temperature measurement accuracy, high sensitivity, good reliability, low cost, long working life and so on. The marine and civil fields are widely used. With the development of electronic industry and information technology. Modern electronic information system is developing towards miniaturization and monolithic integration. Compared with bulk ceramic thermistor, thin film NTC thermistor is much better
【作者單位】： 中國科學(xué)院新疆理化所;
【分類號(hào)】：TB383.2;TN37
【正文快照】： 負(fù)溫度系數(shù)(NTC)熱敏電阻是常見的溫度測控元件,具備測溫精度高、靈敏度高、可靠性好、成本低、工作壽命長等特點(diǎn),在航空、海洋和民用等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。隨著電子工業(yè)和信息技術(shù)水平的不斷進(jìn)步,現(xiàn)代電子信息系統(tǒng)正朝向微小型化和單片集成的方向發(fā)展。相比于塊體陶瓷型熱敏電阻,

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4 蔡s，

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