發(fā)布時間：2017-12-14 16:19

  本文關鍵詞：基于單視角SEM圖像的納米操作精確定位

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【摘要】：納米操作是納米技術的重要研究內容之一,其在科學、經濟和社會領域的價值已上升到重要的地位,以成為一項重要的研究技術。納米技術在不同的領域的影響也越來越廣泛,例如納米制造、納米裝配、生物醫(yī)學、納米材料、電子技術等,因而具有高效、穩(wěn)定的納米操作系統(tǒng)應用前景廣闊。在單視角的納米操作系統(tǒng)的基礎上,本文針對物體的精確定位進行深入研究。為實現(xiàn)精確定位,引入亞像素邊緣檢測和相似度,對探針的精確位置信息進行研究;為實現(xiàn)納米線的精確定位,引入核密度估計,對納米線的精確位置信息進行研究;在實驗過程中,探針作為主要的操控工具,其能否精確定位,決定這實驗的成敗。根據由SEM搭建的納米操作系統(tǒng)的特點,本文采用了粗定位與精確定位相結合的方法,實現(xiàn)對探針的快速而準確的定位。在精確定位中的平面精確定位而言,本文利用亞像素邊緣檢測的原理,提取探針的準確邊緣,實現(xiàn)探針的平面精確定位。而對于垂直精確定位而言,本文引入相似度原理,實現(xiàn)對探針的深度信息的提取。測驗結果證明,圖像中探針的平面精確定位的精度能達到亞像素級別,探針的垂直精確定位也可快速的實現(xiàn)。在納米操作過程中,操作對象往往是比較小的物體(例如納米線),為實現(xiàn)精確的操作,必須準確地獲取納米線的位置信息。利用核密度估計原理,提出適應SEM圖像的小物體識別方案。再根據亞像素的精確定位原理,研究小目標物體定位,實現(xiàn)單納米線的精確定位。實驗結果表明納米線不但可以快速而準確的從背景中識別出來,而且納米線的定位精度也得到提升。針對試驗中出現(xiàn)的納米線重疊的特殊情,為了提取納米線的位置信息,需要將重疊的納米線簡化,使其化為單一的納米線形式,再根據單納米線位置信息提取方法獲得位置信息。
【學位授予單位】：哈爾濱理工大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2016
【分類號】：TB383.1

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本文編號：1288551