本文關(guān)鍵詞：Ni含量對(duì)CrNiTiN涂層微觀結(jié)構(gòu)及摩擦磨損性能的影響

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【摘要】：采用閉合場(chǎng)非平衡磁控濺射離子鍍技術(shù)在H13鋼和單晶Si(110)表面沉積CrNiTiN四元硬質(zhì)涂層。通過(guò)改變Ni靶電流大小來(lái)改變CrNiTiN涂層中Ni的含量。利用掃描電鏡、X射線衍射能譜、X射線光電子譜、摩擦磨損實(shí)驗(yàn)、納米壓痕測(cè)試等技術(shù)研究Ni含量對(duì)涂層成分、結(jié)構(gòu)及摩擦磨損性能的影響。結(jié)果表明:CrNiTiN涂層結(jié)構(gòu)致密,以柱狀晶方式生長(zhǎng);Ni在涂層中以單質(zhì)及化合物形式存在;隨著Ni的加入及其含量的增加,涂層平均晶粒尺寸從29減小到14 nm,涂層擇優(yōu)取向由(220)面轉(zhuǎn)向(200)面,硬度及彈性模量先增加后減小,平均摩擦系數(shù)及磨損率先減小后增加;當(dāng)Ni含量為4.21%(原子比)時(shí),硬度最高為22.4 GPa,平均摩擦系數(shù)最小為0.52,磨損率最小為1.4×10-15m3/Nm。
【作者單位】： 浙江工業(yè)大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;中國(guó)石油大學(xué)理學(xué)院;
【分類(lèi)號(hào)】：TB306
【正文快照】： 隨著模具工業(yè)的發(fā)展,對(duì)模具材料性能的要求越來(lái)越高。H13鋼由于其優(yōu)良的熱硬性、耐磨性等力學(xué)性能,目前廣泛應(yīng)用于擠出模、熱鍛模等模具制造中[1-2]。但在高溫的工作環(huán)境中,H13鋼表面易磨損從而發(fā)生失效[1-3],因此,有必要采用表面處理技術(shù)來(lái)提高其表面硬度和耐磨性。磁控濺射

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