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金屬元素?fù)诫s介孔氧化銦的制備及其氣敏性能的研究

發(fā)布時間:2017-11-24 14:20

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【摘要】:近年來,隨著現(xiàn)代科技的飛速發(fā)展,工業(yè)化進程隨之加快。人們的物質(zhì)生活水平在逐步提高的同時,環(huán)境也在日益惡化,因此迫切需要人們對有毒有害、易燃易爆氣體進行實時監(jiān)測和控制。金屬氧化物半導(dǎo)體氣敏傳感器是一種典型的半導(dǎo)體氣敏傳感器,因其具有靈敏度高、響應(yīng)恢復(fù)速率快、成本較低、易檢測和便于攜帶等優(yōu)點成為氣體傳感器研究的熱點。傳統(tǒng)純金屬氧化物半導(dǎo)體氣體傳感器的靈敏度不夠高,且選擇性較差,已經(jīng)無法滿足實際應(yīng)用中對氣敏材料所有氣敏性能的要求。因此,人們需要通過各種方法來進一步提高氣敏傳感器的氣敏性能,如金屬摻雜、材料多孔化等。本文以高度有序介孔二氧化硅(FDU-12)為硬模板合成介孔氧化銦,通過金屬元素(Co,Ni,Fe和Ce)的摻雜來進一步增強In_2O_3材料的氣敏特性,探究組成成分、摻雜量以及孔結(jié)構(gòu)對In_2O_3半導(dǎo)體傳感器氣敏性能的影響,主要內(nèi)容如下:(1)通過二次浸漬法合成介孔In_2O_3和不同Co含量(1%mol、3%mol、5%mol和7%mol)摻雜的In_2O_3納米球,并研究Co元素?fù)诫s和摻雜量對晶體結(jié)構(gòu)、形貌和氣敏性能的影響。結(jié)果表明Co元素?fù)诫s抑制In_2O_3納米球晶粒的生長,并進入氧化銦的晶格中。Co元素?fù)诫s顯著增強了介孔In_2O_3納米球氣敏元件對乙醇?xì)怏w的敏感特性。在Co元素?fù)诫s的四種氣敏元件中,3%mol Co摻雜In_(2-x) Co_xO_3納米球傳感器表現(xiàn)出最高的靈敏度,在350°C的工作溫度下對100ppm乙醇的靈敏度為114,響應(yīng)/恢復(fù)時間為17s/45s,同時表現(xiàn)出較好的選擇性和穩(wěn)定性。(2)通過二次浸漬法合成不同Ni含量(1%mol、3%mol、5%mol和7%mol)摻雜的In_2O_3納米球,并對其氣敏性能進行研究。結(jié)果表明,Ni元素的摻雜也顯著增強了介孔In_2O_3納米球氣敏元件對乙醇?xì)怏w的敏感特性。Ni元素的最佳摻雜含量為1%mol,在最佳工作溫度350°C時,對100ppm乙醇?xì)怏w的靈敏度為126,響應(yīng)/恢復(fù)時間為15s/49s,同時表現(xiàn)出良好的選擇性和穩(wěn)定性。(3)通過一次浸漬法合不同F(xiàn)e含量(1%mol、3l%mol、5%mol和7%mol)摻雜的In_2O_3納米球。結(jié)果表明,一次浸漬法合成的Fe-In_2O_3納米球比表面積大幅度增加,氣敏性能也顯著增強。5%mol Fe摻雜濃度的In_2O_3納米球氣敏元件靈敏度最高。在350°C的工作溫度下對100ppm乙醇?xì)怏w的靈敏度為133,響應(yīng)/恢復(fù)時間為15s/55s,同時對乙醇表現(xiàn)出良好的選擇性,但穩(wěn)定性相對較低。(4)通過二次浸漬法合成不同Ce含量(1%mol、3l%mol、5%mol和7%mol)摻雜的In_2O_3納米球,并對其氣敏性能進行了研究。結(jié)果顯示,與純In_2O_3氣敏傳感器相比,Ce的摻入不但顯著提高了對乙醇的敏感特性,加快了氣敏響應(yīng)速率,還降低工作溫度。In_(2-x) Ce_xO_3氣敏元件最佳工作溫度為330°C,最佳摻雜量為3%mol,在最佳工作溫度下對100ppm乙醇?xì)怏w的靈敏度為146,響應(yīng)/恢復(fù)時間為14s/40s,同時對乙醇表現(xiàn)出優(yōu)異的選擇性和穩(wěn)定性。介孔In_(2-x)Ce_xO_3納米球氣敏元件在乙醇檢測方面具有潛在的應(yīng)用前景。
【學(xué)位授予單位】:中國計量大學(xué)
【學(xué)位級別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2016
【分類號】:TB381

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本文編號:1222552

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