發(fā)布時間：2017-11-22 12:29

  本文關(guān)鍵詞：氮化鉿在藍寶石襯底上的鍍膜研究

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【摘要】：利用反應式磁控濺射鍍膜系統(tǒng)在藍寶石襯底上制備了氮化鉿(HfxN)薄膜,系統(tǒng)研究了氮氣流量fN和鍍膜溫度Ts對HfxN薄膜的物相組成、晶體結(jié)構(gòu)和電學性質(zhì)的影響。實驗結(jié)果表明,在fN=3sccm時,可以在藍寶石襯底上獲得化學計量比接近1的HfxN薄膜,方塊電阻為5.24Ω/sq;X射線衍射光譜(XRD)結(jié)果顯示薄膜為巖鹽結(jié)構(gòu)的δ-HfN相;提高鍍膜溫度可以顯著提高HfxN薄膜在藍寶石襯底上的晶體質(zhì)量,并且薄膜趨于(111)方向單晶生長;原子力顯微鏡(AFM)顯示薄膜表面平整,均方根粗糙度Rq=0.193nm。
【作者單位】： 中國科學院上海高等研究院;中國科學院大學;浙江谷豐科技有限公司;
【基金】：中國科學院百人計劃擇優(yōu)基金(Y522711401)
【分類號】：TB306
【正文快照】： 3浙江谷豐科技有限公司,杭州310011)0引言氮化鉿(HfxN)是ⅣB族過渡金屬氮化物,具有眾多優(yōu)異性能,如良好的導電性,在可見光和紅外波段都表現(xiàn)出很高的反射率,良好的熱穩(wěn)定性(Tm=3387℃)和較高的熱導率(21.7 W/(m·K))[1]。此外,HfxN薄膜可以作為氮化鎵(GaN)外延生長的過渡層材料

【相似文獻】

中國碩士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 孫仁全;通過動力學標度理論研究氮化鉿薄膜的生長機制[D];吉林大學;2015年

2 荀顯超;氮化鉿及其復合材料的合成和表征[D];吉林大學;2008年

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本文編號：1214730