本文關鍵詞：基于碳納米材料的柔性薄膜器件研究

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【摘要】：近年來,可穿戴或貼合式的傳感器在實時生理監(jiān)測、特殊環(huán)境信號檢測等領域的需求日益凸顯,柔性傳感器成為當前研究的熱點.碳納米管(CNT),由于其獨特的電學和力學性能,在新型電子器件的發(fā)展中扮演著越來越重要的角色.本文介紹了幾類典型的基于碳納米管的柔性紅外傳感器和微壓力傳感器.在柔性紅外傳感器的研制中,利用碳納米管與SiO_2的界面以及不同摻雜的CNT形成的p-n結,設計和制備了兩種不同類型的高靈敏度柔性紅外傳感器,實驗結果證明界面載流子行為對傳感器的響應速度有重要的影響.另一方面,利用碳納米管的優(yōu)秀導電性,設計和制備了兩種力傳感器.通過銀納米顆粒修飾的碳納米管制備的柔性拉力傳感器,兼具高拉伸度和高靈敏度,具有優(yōu)秀的應變系數(shù).此外,利用碳納米管和三棱錐的微結構制備了響應靈敏的微壓力傳感器,具有優(yōu)秀的響應幅度與響應速度.
【作者單位】： 電子科技大學電子薄膜與集成器件國家重點實驗室;
【基金】：國家重點基礎研究發(fā)展計劃(編號:2015CB351905) 國家自然科學基金(批準號:61306015,11329402)資助項目
【分類號】：TB383.1;O613.71
【正文快照】： 1引言率等很多性質上都遠不及傳統(tǒng)的硅等無機材料[3,4].另外,基于硅工藝的半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展很成熟,從成本隨著人們生活水平的提高,柔性電子器件逐漸和工藝復雜度上來看,在工業(yè)上大面積用有機半導開始扮演著日益重要的角色.在實時健康檢測、植入體代替硅等,在相當長一段時間都是

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