本文關(guān)鍵詞：磁控濺射法制備摻雜ZnO透明導(dǎo)電薄膜及其研究進(jìn)展

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【摘要】：磁控濺射技術(shù)以其顯著的優(yōu)點(diǎn)已成為工業(yè)鍍膜主要技術(shù)之一。充分發(fā)揮磁控濺射鍍膜技術(shù)的現(xiàn)有優(yōu)勢(shì),尋找新的增長(zhǎng)點(diǎn),成為近年來(lái)人們研究的熱點(diǎn)。介紹了磁控濺射鍍膜技術(shù)的原理、特點(diǎn);總結(jié)了近來(lái)磁控濺射法制備摻雜ZnO薄膜,主要是Al摻雜、Si摻雜、Al-H共摻雜ZnO薄膜的研究進(jìn)展。并在此基礎(chǔ)上對(duì)摻雜ZnO透明導(dǎo)電薄膜的發(fā)展趨勢(shì)進(jìn)行了展望。
【作者單位】： 海南大學(xué)材料與化工學(xué)院海南省特種玻璃重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 磁控濺射 ZnO透明導(dǎo)電薄膜 摻雜
【基金】：科技部國(guó)家支撐計(jì)劃(2013BAE03B02) 海南省科技廳重大科研專項(xiàng)(ZDZX2013002)
【分類號(hào)】：TB383.2
【正文快照】： (Special Glass Laboratory of Hainan Province,College of Materials and Chemical Engineering,Hainan University,Haikou 570228)*科技部國(guó)家支撐計(jì)劃(2013BAE03B02);海南省科技廳重大科研專項(xiàng)(ZDZX2013002)段光申:男,1990年生,碩士生,主要研究方向?yàn)樘胤N玻璃制備與應(yīng)用E-

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1 吉崎友紀(jì);梁兆權(quán);;透明導(dǎo)電薄膜[J];國(guó)外塑料;1988年01期

2 林毅;宋鸝;陳奇;陸劍英;李會(huì)平;;有機(jī)-無(wú)機(jī)透明導(dǎo)電薄膜的研究進(jìn)展[J];材料導(dǎo)報(bào);2005年11期

3 汝淮;;帝人推出新型透明導(dǎo)電薄膜[J];國(guó)外塑料;2010年08期

4 ;集成柔性高透明導(dǎo)電薄膜技術(shù)[J];電腦與電信;2011年09期

5 胡旭偉;;透明導(dǎo)電薄膜制作技術(shù)發(fā)展[J];今日印刷;2012年08期

6 劉曉菲;王小平;王麗軍;楊燦;王子鳳;;透明導(dǎo)電薄膜的研究進(jìn)展[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;2012年10期

7 馬冀君;李健;耿宏章;王寧;張念一;胡曉燕;;通過(guò)噴涂的方法使用單壁碳納米管制備柔性透明導(dǎo)電薄膜[J];金屬功能材料;2013年02期

8 李春鴻;;透明導(dǎo)電薄膜及其應(yīng)用[J];儀表材料;1979年05期

9 李春鴻;姜克斌;;透明導(dǎo)電薄膜的制備及其組成分析[J];儀表材料;1983年03期

10 王建恩，王運(yùn)濤，，王軍，張兵臨，何金田，張艷蘭;三氧化二銦基透明導(dǎo)電薄膜光、電特性的研究[J];功能材料;1995年02期

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本文編號(hào)：1126359