發(fā)布時間：2017-10-23 01:22

  本文關(guān)鍵詞：MPCVD金剛石膜裝置的研究進(jìn)展

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【摘要】：微波等離子體(MPCVD)法因其獨特的優(yōu)勢,成為高速、大面積、高質(zhì)量制備金剛石膜的首選方法,MPCVD金剛石膜裝置的研究受到科研人員和工業(yè)界的廣泛關(guān)注。文章對金剛石膜的性質(zhì)和各種制備方法進(jìn)行了簡要概述,論述了CVD金剛石膜的生長機(jī)理,著重闡述了各種MPCVD裝置的結(jié)構(gòu)特點及工作原理,并對各種裝置的優(yōu)、缺點進(jìn)行了分析。研究結(jié)果表明:研制具有高品質(zhì)因數(shù)諧振腔能激發(fā)均勻微波等離子體的MPCVD裝置,是進(jìn)一步開發(fā)金剛石膜工業(yè)化應(yīng)用所需解決的主要問題。
【作者單位】： 中國科學(xué)院電工研究所;武漢工程大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院等離子體化學(xué)與新材料重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 金剛石膜 MPCVD 諧振腔
【基金】：湖北省教育廳項目(Q20151517)
【分類號】：TB383.2
【正文快照】： 0引言金剛石是天然物質(zhì)中最硬的材料,在熱學(xué)、聲學(xué)、光學(xué)、電學(xué)等方面具有優(yōu)異的物理化學(xué)性能[1-2]。金剛石膜可以明顯改善器件的工作效率,使器件在技術(shù)指標(biāo)、使用壽命、運行可靠性和經(jīng)濟(jì)性等多方面獲得更優(yōu)異的效果,因此對金剛石的研究與應(yīng)用已成為各個領(lǐng)域的科研工作者深入

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本文編號：1080985