本文關(guān)鍵詞：基于光纖光柵傳感的化學(xué)鍍膜過程本征應(yīng)力監(jiān)測(cè)

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【摘要】：為了研究化學(xué)鍍膜過程中本征應(yīng)力的演變過程,建立了基于光纖光柵傳感的本征應(yīng)力計(jì)算模型,提出了一種監(jiān)測(cè)化學(xué)鍍膜過程本征應(yīng)力演變的方法.通過記錄光纖光柵中心波長(zhǎng)的偏移量,結(jié)合裸光柵進(jìn)行補(bǔ)償,實(shí)現(xiàn)了在線監(jiān)測(cè)化學(xué)鍍膜過程產(chǎn)生的本征應(yīng)力.使用光纖光柵傳感器對(duì)化學(xué)鍍Cu過程中本征應(yīng)力進(jìn)行監(jiān)測(cè).結(jié)果表明:在化學(xué)鍍Cu過程中,光纖光柵中心波長(zhǎng)藍(lán)移,本征應(yīng)力表現(xiàn)為壓應(yīng)力,且本征應(yīng)力隨時(shí)間的增加而增大;監(jiān)測(cè)光柵的壓力靈敏度為4.10 pm/MPa,監(jiān)測(cè)準(zhǔn)確度可達(dá)到0.24 Mpa.
【作者單位】： 南昌大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院機(jī)器人及焊接自動(dòng)化重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 應(yīng)用光學(xué) 應(yīng)力演變監(jiān)測(cè)方法 在線監(jiān)測(cè) 本征應(yīng)力 光纖光柵
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(No.51265035) 江西省自然基金(No.20151BAB206031)資助~~
【分類號(hào)】：TB383.2
【正文快照】： 0S3.^. 隨著科技的發(fā)展,薄膜制備技術(shù)在顯示設(shè)備、醫(yī)學(xué)光電設(shè)備、光通訊、太陽(yáng)能電池及高功率強(qiáng)激光系統(tǒng)等領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用薄膜在制備過程中會(huì)產(chǎn)生薄膜應(yīng)力[4],這種薄膜應(yīng)力按形成機(jī)理的不同,可以分為熱應(yīng)力和本征應(yīng)力?鍍膜過程中,基體材料和薄膜同時(shí)加熱到一定溫度,當(dāng)鍍

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

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本文編號(hào)：1078786