本文關鍵詞：基于光纖光柵傳感的化學鍍膜過程本征應力監(jiān)測

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【摘要】：為了研究化學鍍膜過程中本征應力的演變過程,建立了基于光纖光柵傳感的本征應力計算模型,提出了一種監(jiān)測化學鍍膜過程本征應力演變的方法.通過記錄光纖光柵中心波長的偏移量,結合裸光柵進行補償,實現了在線監(jiān)測化學鍍膜過程產生的本征應力.使用光纖光柵傳感器對化學鍍Cu過程中本征應力進行監(jiān)測.結果表明:在化學鍍Cu過程中,光纖光柵中心波長藍移,本征應力表現為壓應力,且本征應力隨時間的增加而增大;監(jiān)測光柵的壓力靈敏度為4.10 pm/MPa,監(jiān)測準確度可達到0.24 Mpa.
【作者單位】： 南昌大學機電工程學院機器人及焊接自動化重點實驗室;
【關鍵詞】： 應用光學 應力演變監(jiān)測方法 在線監(jiān)測 本征應力 光纖光柵
【基金】：國家自然科學基金(No.51265035) 江西省自然基金(No.20151BAB206031)資助~~
【分類號】：TB383.2
【正文快照】： 0S3.^. 隨著科技的發(fā)展,薄膜制備技術在顯示設備、醫(yī)學光電設備、光通訊、太陽能電池及高功率強激光系統(tǒng)等領域中得到廣泛應用薄膜在制備過程中會產生薄膜應力[4],這種薄膜應力按形成機理的不同,可以分為熱應力和本征應力?鍍膜過程中,基體材料和薄膜同時加熱到一定溫度,當鍍

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本文編號：1078786