本文關(guān)鍵詞：玻璃襯底二氧化釩薄膜的寬頻帶太赫茲波調(diào)制特性

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【摘要】：針對(duì)二氧化釩(VO_2)薄膜在可調(diào)諧太赫茲功能器件中的應(yīng)用,采用磁控濺射法在K9玻璃襯底上制備了VO_2薄膜,并用X射線衍射(XRD)對(duì)薄膜的晶相進(jìn)行表征。利用配備加熱裝置的太赫茲時(shí)域光譜系統(tǒng)(THz-TDS)研究了薄膜樣品在變溫過程中的THz反射、透射光譜特性及其變化規(guī)律。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,隨著加熱溫度的升高,VO_2薄膜發(fā)生半導(dǎo)體-金屬相變并對(duì)寬頻段THz波產(chǎn)生顯著的調(diào)制作用。調(diào)制深度明顯依賴于THz頻率,薄膜樣品對(duì)THz波反射功率、透射率的幅度調(diào)制深度在0.3~0.5THz范圍波動(dòng)較大;對(duì)THz波的透射率在低頻處較大,高頻處較小,調(diào)制深度在35%~65%之間變化。該薄膜制備簡單,質(zhì)量高,可應(yīng)用于太赫茲開關(guān)和調(diào)制器等功能器件。
【作者單位】： 四川大學(xué)電子信息學(xué)院;中國工程物理研究院激光聚變研究中心;電子科技大學(xué)光電信息學(xué)院電子薄膜與集成器件國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 二氧化釩 太赫茲 THz時(shí)域光譜系統(tǒng) 調(diào)制
【基金】：光電探測與傳感集成技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開放基金項(xiàng)目(KFJJ201302)
【分類號(hào)】：TB383.2;O441.4
【正文快照】： THz波是頻率在0.1~10THz(即波長范圍為3000~30μm)的電磁波,在高容量高速率通信方面有重要應(yīng)用前景。但是THz器件尤其是可控功能器件如THz濾波、相位控制、開關(guān)和調(diào)制等器件匱乏,限制了THz通信技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展。THz調(diào)制技術(shù)是THz通信系統(tǒng)的關(guān)鍵技術(shù)之一[1]。近年來,為了提高T

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 牟永強(qiáng);馮浩;梁耀廷;崔敬忠;;二氧化釩薄膜退火特性研究[J];真空與低溫;2009年01期

2 趙萍;李立s，

本文編號(hào)：1075744