本文關(guān)鍵詞：聚焦離子束技術(shù)制備超薄TEM樣品—X~2樣品臺(tái)的應(yīng)用

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【摘要】：聚焦離子束技術(shù)在制備TEM樣品方面得到了廣泛的應(yīng)用。普通傳統(tǒng)的制樣減薄方法存在遠(yuǎn)端薄區(qū)極易彎曲和薄區(qū)厚度不均勻的問(wèn)題。針對(duì)存在的這些問(wèn)題本文使用Zeiss公司的X2樣品臺(tái)采取交叉減薄的方法制備一個(gè)具有均勻的極薄的TEM樣品。本文主要介紹X2樣品臺(tái)的工作原理和交叉減薄的實(shí)驗(yàn)過(guò)程,并分析了該方法在制備TEM樣品時(shí)存在的優(yōu)缺點(diǎn)以及其獨(dú)特的適用性。
【作者單位】： 重慶大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;卡爾蔡司(上海)管理有限公司;
【關(guān)鍵詞】： FIB TEM樣品制備 X樣品臺(tái)
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目(No.51271209) 國(guó)家“211工程”資助項(xiàng)目(No.CERS-1-33) 汽車發(fā)動(dòng)機(jī)用鑄造鋁合金中新型納米帶析出沉淀相的形成機(jī)理及其對(duì)高溫力學(xué)性能的影響(No.51271209)
【分類號(hào)】：TB302
【正文快照】： 聚焦離子束(FIB)技術(shù)以其卓越的微區(qū)加工能力,使其在透射電鏡(TEM)樣品制備方面得到廣泛應(yīng)用[1]。會(huì)聚的離子束可以準(zhǔn)確、靈活地對(duì)樣品選定的區(qū)域進(jìn)行刻蝕、沉淀和減薄等過(guò)程[2]。利用FIB實(shí)時(shí)加工實(shí)時(shí)觀察的特點(diǎn)可以進(jìn)行特定區(qū)域TEM樣品制備,如孿晶界面等。目前利用聚焦離子束

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1074477