本文關(guān)鍵詞：柔性光學(xué)聚酰亞胺薄膜折射率均勻性檢測(cè)方法

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【摘要】：針對(duì)空間應(yīng)用的柔性光學(xué)聚酰亞胺薄膜折射率均勻性檢測(cè)要求,本文提出以干涉測(cè)量法為基礎(chǔ),采用光學(xué)聚酰亞胺薄膜制備所用基板的反射波前數(shù)據(jù)、薄膜未剝離成膜基板時(shí)上表面反射波前數(shù)據(jù)以及薄膜剝離基板后的透射波前數(shù)據(jù)有效測(cè)量此類柔性薄膜折射率均勻性。將棱鏡耦合儀逐點(diǎn)測(cè)量數(shù)據(jù)作為對(duì)比項(xiàng),實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,所提出的方法能高效可靠地對(duì)柔性薄膜全口徑進(jìn)行折射率均勻性檢測(cè)。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 柔性光學(xué)聚酰亞胺薄膜 折射率均勻性 波面
【基金】：國(guó)家863高技術(shù)項(xiàng)目支持課題
【分類號(hào)】：TQ323.7;TB383.2
【正文快照】： 0引言隨著輕量化光學(xué)元器件的發(fā)展,柔性自支撐聚合物光學(xué)薄膜材料逐漸應(yīng)用到光學(xué)系統(tǒng)中[1-2],標(biāo)定這種柔性光學(xué)薄膜的光學(xué)材料均勻性是其應(yīng)用的前提�，F(xiàn)有文獻(xiàn)[3-5]報(bào)道的內(nèi)容大多涉及光學(xué)玻璃等剛性材料的光學(xué)材料均勻性檢測(cè),其材料厚度在毫米量級(jí)以上;同時(shí)也有通過透過率光，

本文編號(hào)：1069953