發(fā)布時(shí)間：2017-10-18 02:46

  本文關(guān)鍵詞：激光頻率對(duì)激光濺射法制備多晶硅薄膜壓阻特性的研究

  更多相關(guān)文章： 脈沖激光濺射 激光頻率 多晶硅薄膜 應(yīng)變系數(shù) 晶粒尺寸

【摘要】：采用脈沖激光濺射法制備硼摻雜多晶硅薄膜,研究了不同頻率下多晶硅薄膜的晶粒尺寸以及壓阻性能。用掃描電子顯微鏡表征在不同的激光頻率沉積的多晶硅薄膜的表面形貌,以及懸臂梁實(shí)驗(yàn)測(cè)定在不同的激光頻率下沉積的多晶硅薄膜的應(yīng)變系數(shù)。結(jié)果表明濺射頻率對(duì)激光濺射法制備的硼摻雜多晶硅薄膜的晶粒尺寸和壓阻性能都有著明顯的影響,當(dāng)頻率為3 Hz時(shí)多晶硅薄膜的晶粒尺寸較大,約為35~65μm,并且多晶硅薄膜有著良好的壓阻性能,其應(yīng)變系數(shù)為36.8,電阻的溫度系數(shù)為-0.036%/℃,應(yīng)變系數(shù)的溫度系數(shù)為-0.09%/℃。
【作者單位】： 大連大學(xué)表面工程中心;
【關(guān)鍵詞】： 脈沖激光濺射 激光頻率 多晶硅薄膜 應(yīng)變系數(shù) 晶粒尺寸
【基金】：金州新區(qū)科技計(jì)劃高新技術(shù)研究開發(fā)計(jì)劃·培育專項(xiàng)(2013-GX1-002)
【分類號(hào)】：TB383.2
【正文快照】： 作為壓阻傳感器的一種,多晶硅壓力傳感器因其成本低、量程寬、抗沖擊和使用溫度高而在近些年迅速發(fā)展成一種物美價(jià)廉的傳感器[1-4]。但是如何在保證傳感器靈敏度的同時(shí)更進(jìn)一步提高傳感器的高溫特性一直是實(shí)現(xiàn)多晶硅壓力傳感器性能優(yōu)化有待解決的問題[5]。通過大量的實(shí)驗(yàn)研究,

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1052514