本文關(guān)鍵詞：ZnO納米薄膜及其聲表面波傳感器的制備與特性研究

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【摘要】：結(jié)合RF磁控濺射和水熱合成法制備ZnO納米結(jié)構(gòu)薄膜,利用XRD及SEM分析ZnO薄膜的晶體結(jié)構(gòu)和形貌、XPS分析薄膜的化學(xué)組分。結(jié)果表明,在適當(dāng)?shù)臈l件下,所制備的ZnO薄膜為具有良好c軸取向的納米棒狀結(jié)構(gòu),且ZnO納米棒薄膜表面吸附的氧原子及晶格的氧空位缺陷增多。利用所制備ZnO納米棒薄膜的上述特性,將其作為氣體敏感材料。分別沉積于128°YX-LiNbO_3和36°YX-LiTaO_3基片,研制多層結(jié)構(gòu)的聲表面波(Rayleigh波和Love波)氫氣傳感器,并進(jìn)行室溫條件下氫氣的實時傳感檢測,結(jié)果顯示所研制的Love波傳感器具有更高的靈敏度,性能更優(yōu)化。
【作者單位】： 南京郵電大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院;近代聲學(xué)教育部重點實驗室南京大學(xué)聲學(xué)研究所;
【關(guān)鍵詞】： 聲表面波傳感器;多層結(jié)構(gòu);棒狀結(jié)構(gòu);Rayleigh;傳感器應(yīng)用;表面吸附;磁控濺射;水熱合成法;電子結(jié)合能;濺射法;
【基金】：國家青年科學(xué)基金項目(11304160) 江蘇省高校自然科學(xué)基金項目(13KJB140008) 南京郵電大學(xué)基金項目(NY213018)資助
【分類號】：O484.1;TP212;TB383.1
【正文快照】： 3,^. 5 聲表面波(SAW)的能量主要集中在表面以下一到兩個波長范圍內(nèi),對質(zhì)量負(fù)載、黏彈性負(fù)載、溫度等外界因素的干擾非常敏感W,因此SAW傳感器具 有靈敏度高、反應(yīng)速度快、重復(fù)性好等優(yōu)點,特別適合于有毒有害物質(zhì)的實時傳感檢測。SAW傳感器通常由激發(fā)SAW的壓電基片及敏感材，

本文編號：1048777