本文關(guān)鍵詞：雙層石墨烯在柵壓調(diào)控下的各向異性刻蝕

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【摘要】：石墨烯納米結(jié)構(gòu)在納電子學研究領(lǐng)域表現(xiàn)出了良好的應用前景.氫等離子體各向異性刻蝕技術(shù)是加工石墨烯精細納米結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵技術(shù)之一,可以實現(xiàn)10 nm以下平整的鋸齒型石墨烯納米帶的可控加工.本文系統(tǒng)研究了外加電場對石墨烯各向異性刻蝕效應的影響,利用外加柵壓實現(xiàn)了氧化硅襯底上的雙層石墨烯各向異性刻蝕速率的調(diào)控.在±30 V柵壓變化范圍內(nèi),刻蝕速率比可達45.由此不僅可以提高大批量加工石墨烯納米結(jié)構(gòu)的效率,還可以實現(xiàn)5 nm以下極小尺寸石墨烯納米帶的可控加工.研究結(jié)果為石墨烯精細納米結(jié)構(gòu)器件的高效批量加工提供了思路.
【作者單位】： 中國科學院物理研究所北京凝聚態(tài)物理國家實驗室;北京納米材料與納米器件重點實驗室;量子物質(zhì)科學協(xié)同創(chuàng)新中心;中國科學院大學物理學院;
【關(guān)鍵詞】： 石墨烯納米結(jié)構(gòu) 各向異性刻蝕 柵壓 可控加工
【基金】：國家重點基礎(chǔ)研究發(fā)展計劃(批準號:2013CB934500,2013CBA01602) 國家自然科學基金(批準號:91223204,61325021,11574361,91323304) 中國科學院B類先導項目(批準號:XDB07010100)資助的課題~~
【分類號】：TB383.1;TN305.7
【正文快照】： 1引言 石墨烯納米結(jié)構(gòu)在未來的納電子器件如晶體管、傳感器、自旋閥、光電探測器等方面具有廣泛的應用前景[1 10].近些年,鋸齒形邊界的石墨烯納米結(jié)由于其獨特的電子學性質(zhì)受到了人們的廣泛關(guān)注[4,11,12].迄今為止,加工鋸齒形邊界的石墨烯納米結(jié)構(gòu)包括兩類方法:以分子組裝為

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本文編號：1006705