開(kāi)放式半導(dǎo)體微納加工實(shí)驗(yàn)室具有工藝種類多、工藝復(fù)雜、工藝流程長(zhǎng)等特點(diǎn),在工藝過(guò)程中所涉及的化學(xué)品及特種氣體種類多、易燃易爆試劑用量大、危險(xiǎn)性高等,因此,對(duì)這類實(shí)驗(yàn)室的安全管理提出了更高的要求。根據(jù)這類實(shí)驗(yàn)室的特點(diǎn),該文針對(duì)開(kāi)放式微納加工實(shí)驗(yàn)室的�；芬�(guī)范化管理進(jìn)行了探討,為實(shí)驗(yàn)室安全運(yùn)行打下了很好的基礎(chǔ)。

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【文章目錄】：
1 半導(dǎo)體微納加工實(shí)驗(yàn)室�；贩诸�
    1.1 常用化學(xué)試劑
    1.2 常用氣體
    1.3 廢棄物分類
2 �；饭芾眢w系的規(guī)范化探索
    2.1 提高安全意識(shí)，加強(qiáng)安全宣傳與培訓(xùn)力度
    2.2 排查隱患，加強(qiáng)特種氣體及�；饭芾�
    2.3 加強(qiáng)廢棄物管理，保障廢棄物回收安全
    2.4 合理分區(qū)，完善設(shè)施配備，加強(qiáng)規(guī)范管理
    2.5 建立安全責(zé)任管理體系，做到責(zé)任到人
3 結(jié)語(yǔ)



本文編號(hào)：3791515