發(fā)布時(shí)間：2023-04-06 17:46

　　隨著超精密加工設(shè)備精度的不斷提高，對加工環(huán)境的要求也越發(fā)苛刻，對振動的要求便是其中非常重要的一項(xiàng)。相比于傳統(tǒng)的被動隔振方式，主動隔振方式能夠獲得更寬的隔振頻帶，且能夠克服被動隔振無法同時(shí)對地面振動和負(fù)載振動進(jìn)行良好隔離的劣勢。而傳感單元是主動減振實(shí)現(xiàn)其功能的重要組成部分，對其進(jìn)行深入的研究有重要的理論和實(shí)用意義。 本文從主動減振系統(tǒng)的工作原理出發(fā)，提出了對傳感單元的功能要求，在此基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)并分析了傳感單元的總體實(shí)現(xiàn)方案，對其中將要采用的非接觸位移傳感器、絕對速度傳感器進(jìn)行了選型比較，確定了所選傳感器的型號及性能指標(biāo)，完成了傳感單元總體方案的設(shè)計(jì)。 建立了速度傳感器的動態(tài)模型，從機(jī)械結(jié)構(gòu)及外部噪聲等方面分析了其低頻檢測的限制因素。闡述了對速度傳感器進(jìn)行軟件低頻補(bǔ)償?shù)脑�，并�?yīng)用不同的方法設(shè)計(jì)了補(bǔ)償器，對比了這幾種方法的時(shí)域仿真結(jié)果，針對其中兩種可行的方法作了詳細(xì)介紹，從時(shí)域結(jié)果及頻域結(jié)果比較了兩者的補(bǔ)償效果，為實(shí)際應(yīng)用中選擇合適的方法進(jìn)行速度傳感器的軟件補(bǔ)償提供了理論依據(jù)。 分析了位移傳感器的標(biāo)定原理，通過最小二乘擬合方法，完成了對位移傳感器及溫度傳感器的標(biāo)定。闡述了實(shí)測速度傳感器傳遞函...

【文章頁數(shù)】：60 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
1 緒論
    1.1 課題來源
    1.2 課題目的及意義
    1.3 主動減振系統(tǒng)傳感技術(shù)研究現(xiàn)狀
    1.4 虛擬儀器技術(shù)
    1.5 本文主要內(nèi)容及研究路線
2 傳感單元總體方案設(shè)計(jì)與分析
    2.1 方案設(shè)計(jì)與分析
    2.2 位移傳感器選型分析
    2.3 速度傳感器選型分析
    2.4 溫度傳感器選型分析
    2.5 本章小結(jié)
3 速度傳感器動態(tài)補(bǔ)償
    3.1 速度傳感器建模及補(bǔ)償原理
    3.2 補(bǔ)償器設(shè)計(jì)方法分析
    3.3 FLANN 算法補(bǔ)償器設(shè)計(jì)
    3.4 設(shè)計(jì)方法比較
    3.5 本章小結(jié)
4 傳感器標(biāo)定與分析
    4.1 位移傳感器標(biāo)定
    4.2 速度傳感器傳遞函數(shù)辨識
    4.3 溫度傳感器標(biāo)定
    4.4 本章小結(jié)
5 全文總結(jié)與展望
    5.1 全文總結(jié)
    5.2 展望
參考文獻(xiàn)
致謝
附錄 1 攻讀學(xué)位期間發(fā)表學(xué)術(shù)論文目錄



本文編號：3784129