在超精密加工領(lǐng)域,金剛石刀具相對(duì)于工件表面間距檢測(cè)精度低成為制約超精密加工精度的一個(gè)重要因素。激光衍射對(duì)刀是通過檢測(cè)一級(jí)衍射條紋峰值點(diǎn)間距進(jìn)行對(duì)刀間距測(cè)量的方法。但是衍射法測(cè)量對(duì)刀間距檢測(cè)精度的影響因素眾多,因此,研究安裝工藝參數(shù)對(duì)衍射條紋峰值點(diǎn)分布位置的影響,對(duì)于提高超精密加工精度,保證超精密加工質(zhì)量具有重要意義。本文通過研究安裝工藝參數(shù)對(duì)激光衍射對(duì)刀間距檢測(cè)精度的影響規(guī)律,目的是形成一種對(duì)刀樣機(jī)工藝參數(shù)的精密調(diào)節(jié)方法。在查閱大量國(guó)內(nèi)外文獻(xiàn),詳細(xì)分析國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀的基礎(chǔ)上,主要完成了以下幾個(gè)方面的研究?jī)?nèi)容:首先,研究夫瑯禾費(fèi)遠(yuǎn)場(chǎng)衍射理論,并建立對(duì)刀間距檢測(cè)模型�；赟olidworks設(shè)計(jì)開發(fā)了激光衍射對(duì)刀實(shí)驗(yàn)樣機(jī),并進(jìn)行相關(guān)結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)優(yōu)化,然后進(jìn)行構(gòu)件選型搭建相關(guān)樣機(jī)。其中,底座升降機(jī)構(gòu)用以為檢測(cè)機(jī)構(gòu)提供升降位移、光軸偏轉(zhuǎn)臺(tái)用以為檢測(cè)機(jī)構(gòu)提供偏航角度、檢測(cè)機(jī)構(gòu)用以完成對(duì)刀間距檢測(cè)。通過實(shí)驗(yàn)初步確定了相關(guān)工藝影響因素。其次,研究了各個(gè)安裝工藝參數(shù)對(duì)對(duì)刀間距檢測(cè)精度的影響。建立了激光斜入射角度的衍射光強(qiáng)計(jì)算模型、CCD傾斜角度的衍射光強(qiáng)計(jì)算模型及矩孔傾斜角度的衍射光強(qiáng)計(jì)算模型。并基于相... 

【文章來源】：長(zhǎng)春理工大學(xué)吉林省

【文章頁數(shù)】：62 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

德國(guó)波龍公司Z-NANO對(duì)刀儀

只能用來進(jìn)行對(duì)刀間距測(cè)量，功能單一。圖 1.1 德國(guó)波龍公司 Z-NANO 對(duì)刀儀 圖 1.2 天門精密機(jī)械有限公司 DTYⅡ1540 型對(duì)刀儀在國(guó)內(nèi)，天津市天門精密機(jī)械有限公司生產(chǎn)的 DTYⅡ1540型對(duì)刀儀結(jié)構(gòu)如圖1.2所示。DTYⅡ1540型對(duì)刀儀由底座、立柱、軸系、對(duì)刀儀測(cè)量系統(tǒng)、對(duì)刀儀對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)組成。在儀器的表座上，裝有兩塊帶有平測(cè)頭的千分表，用于實(shí)現(xiàn)對(duì)刀儀的接觸測(cè)量。兩個(gè)千分表的位置均可調(diào)整。通過調(diào)整相應(yīng)的滾花旋鈕，實(shí)現(xiàn)兩個(gè)千分表的移動(dòng)和鎖定。其測(cè)量精度達(dá)到了1μm。在功能方面，該對(duì)刀儀不僅可以檢測(cè)對(duì)刀間距，還可以檢測(cè)刀具切削刃徑向和軸向尺寸。雖然功能提高了很多，但是在某些需高精度測(cè)量對(duì)刀間距的超精密加工方面，其對(duì)刀間距的檢測(cè)精度仍不能滿足要求。坐標(biāo)測(cè)量機(jī)（Coordinate Measuring Machine,簡(jiǎn)稱 CMM）是在三維空間點(diǎn)測(cè)量原理的基礎(chǔ)上發(fā)展而來的。坐標(biāo)測(cè)量機(jī)為了保證一定的測(cè)量精度，其檢測(cè)量程被大大的限制，主要應(yīng)用于中小尺寸、復(fù)雜形狀表面輪廓尺寸的測(cè)量。但是，在進(jìn)行對(duì)刀間距檢測(cè)時(shí)

刀具參數(shù)及對(duì)刀間距信息[21-23]。其原理如圖1.3所示。該檢測(cè)方法具有圖像處理算法簡(jiǎn)單的特點(diǎn)。而且通過軟件編程，可以自動(dòng)地對(duì)刀具輪廓進(jìn)行跟蹤并且可以識(shí)別刀具類型。圖 1.3 電子攝像式刀具預(yù)調(diào)測(cè)量?jī)x的檢測(cè)原理由于采用先進(jìn)的圖像處理算法，電子攝像式刀具預(yù)調(diào)測(cè)量?jī)x的檢測(cè)及對(duì)刀精度較高。在國(guó)外市場(chǎng)上，德國(guó) ZOLLER 卓勒公司生產(chǎn)的 Smile400/4-pilot2.0型刀具預(yù)調(diào)測(cè)量?jī)x，可以達(dá)到1μm 的顯示分辨率、1μm 的重復(fù)測(cè)量精度，如圖1.4所示。在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)上，尚沒有成熟的電子攝像式對(duì)刀間距檢測(cè)設(shè)備。高測(cè)量精度的電子攝像式刀具預(yù)調(diào)測(cè)量?jī)x一直被國(guó)外所壟斷，而且價(jià)格昂貴、功能單一。為了滿足國(guó)內(nèi)超精密加工的高精度對(duì)刀、檢刀需求

【參考文獻(xiàn)】：
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博士論文
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碩士論文
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